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行業(yè)產(chǎn)品

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杭州科瑞達實驗器材有限公司


潔凈厭氧高溫氣氛爐

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地杭州市

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更新時間:2024-09-12 09:45:40瀏覽次數(shù):148次

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產(chǎn)品簡介

用途:光刻工藝后段,光刻膠固化

詳細介紹

用途:光刻工藝后段,光刻膠固化。

■ 特點:

→ 工作溫度360℃和500℃、潔凈度100級、氧濃度20ppm以下。

→ 程序運轉(zhuǎn)功能,有自動/手動兩種操作模式。

→ 快速升溫、降溫,降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。

→ 配置了自動門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計等。

→ 全不銹鋼材質(zhì)。

→ 在安全方面,配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異常、氮氣流量異常、過電流漏電保護斷路器等安全裝置。

■ 規(guī)格:

型號

C1-008

溫度范圍

室溫+30~360℃

室溫+50~500℃

溫度分布精度

±4.0℃(at 360℃)

±8.0℃(at 500℃)

溫度上升時間

60min(室溫→360℃)

90min(室溫→500℃)

溫度下降時間

90min(360℃→50℃)

120min(500℃→50℃)

氧濃度

20ppm以下

氧濃度下降時間

約45分鐘

潔凈度

100級

裝備

氮氣導入裝置、水冷裝置、差壓計等

內(nèi)尺寸

W600×D600×H600mm

電源

3相 AC380V




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