一、產品概述
熱解氮化硼屬于特種陶瓷材料。熱解氮化硼的沉積過程宛如“落雪”,氮化硼的六角形小雪片,一片一片的平行的落在基體材料上,達到一定厚度后,較終冷卻脫模而成。
二、主要特點
1.材料呈白色,無毒、易加工。
2.純度高達99.99%,密度可達2.2g/cm3,表面致密,氣密性好。
3.耐高溫,且強度隨溫度升高而增大,2200℃達到極值。
4.耐酸、堿、鹽及有機試劑腐蝕,高溫下與絕大多數(shù)金屬、半導體不浸潤、不反應。
5.抗熱震性好,熱導性好,熱膨脹系數(shù)低。
6.電阻高,介電強度高,介電常數(shù)小,磁損耗角正切低,并具有良好的透微波和紅外線性能。
7.在力學、熱學、電學等性能上有著明顯的各向異性。
三、產品應用
1.原位合成GaAs、InP、GaP等半導體單晶的坩堝。
2.其他III-V族化合物單晶或多晶合成用的坩堝、舟皿。
3.分子束外延用的MBE系列坩堝。
4.退火爐用PBN/PG復合加熱器涂層。
5.高溫真空爐內絕緣件。
6.石墨加熱器絕緣涂層。
7.高溫絕緣噴嘴。
8.MOCVD絕緣板。
9.異形坩堝及異形石墨件涂層。
10.特種冶金用坩堝
性能 | 單位 | 數(shù)值 | |
密度 | g/cm3 | 1.95-2.20 | |
晶格常數(shù) | m | a:2.5*10-10 c:6.8*10-10 | |
顯微硬度 (knoop)(ab 平面) | Mpa | 680 | |
電阻(at 1000℃) | Ω·cm | 3*109 | |
抗張強度(ab 方向) | N/mm2 | 98 | |
抗彎強度 | ab 方向 | N/mm2 | 127 |
抗壓強度 | C 方向 | N/mm2 | 304 |
ab 方向 | N/mm2 | 64 | |
熱傳導率 |
| W/m·k | “a” direction “c” direction |
(200℃) | W/m·k | 60 2.6 | |
(900℃) | W/m·k | 43.70 2.8 | |
介電強度(室溫) | KV/mm | 5*103 |