WaveMaster® PRO系列產(chǎn)品是為了適應(yīng)波前質(zhì)量的大批量檢測(cè)的需求而研發(fā)的兩款儀器,可自行設(shè)置合格標(biāo)準(zhǔn),并根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)判定合格和不合格。WaveMaster® PRO 2和WaveMaster® PRO 2 reflex配備托盤系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)對(duì)單個(gè)小鏡片的大批量檢測(cè)。WaveMaster® PRO Wafer則可以對(duì)晶圓級(jí)鏡頭的波前進(jìn)行快速檢測(cè)。
應(yīng)用范圍: |
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