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YAB-50/59 自動上蠟機(jī)

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產(chǎn)品型號

品       牌

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所  在  地

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更新時間：2023-05-08 10:18:30瀏覽次數(shù)：361次

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商鋪產(chǎn)品：1條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

元興智能提供貼蠟制程解決方案，襯底完成雙面研磨拋光或砂輪減薄后，利用蠟粘貼在陶瓷盤上， 進(jìn)行DMP或CMP單面拋光，適用2英寸至8英寸襯底，該設(shè)備具有陶瓷盤自動上載和卸載功能，均勻控制晶片蠟層厚度偏差2?。

詳細(xì)介紹

設(shè)備參數(shù)

設(shè)備型號

YAB-50 自動上蠟機(jī)

YAB-59自動上蠟機(jī)

陶瓷盤規(guī)格(mm)

?360 或 ?485

?485 或 ?590

適用晶片尺寸

4~8英寸

陶瓷盤貼片數(shù)量

?485， 6片6英寸

?590， 5片8英寸

貼蠟型號

SKYLIUQUID ABR-4016

貼蠟厚度

<2?

每片貼蠟時間

30秒

設(shè)備電源

380V 3P 50/60Hz

壓縮空氣

5kgf / cm2 ( Oil less )

PCW

5-20L/min,0.1-0.3MPa

設(shè)備尺寸(mm)

2800(W)×2200(L)×2,300(H)

設(shè)備重量

2,000kg

主要功能

陶瓷盤和晶片自動加載

自動排列晶片系統(tǒng)

液體蠟自動旋轉(zhuǎn)涂布和烘烤

陶瓷盤預(yù)熱、陶瓷盤和晶片自動冷卻

SMC氣動元件，精準(zhǔn)氣囊加壓貼蠟

三菱電機(jī)PLC控制系統(tǒng)

選配功能

自動在線測厚


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