PCE-80是一款較大型的等離子清洗機，等離子腔體為 8.5 “dia x 12““L的石英腔體，采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等）。對于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實驗幫手。

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)

輸入電源	AC 220V , 50/60 Hz, 大射頻功率: 100 W 真空泵功率: < 500W 總功率: < 600W
射頻功率	射頻功率可在 0 - 100W之間調(diào)節(jié) 射頻: 13,56 MHz 可以與本公司工作人員采用300W或500W的射頻電源，來進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗
等離子腔體	8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體鋁制折疊式法蘭來進(jìn)行真空密封法蘭上有一個直徑為60mm的觀察窗口
控制面板	通過6" 彩色觸摸屏，可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時間和氣體流量等. 儀器內(nèi)部安裝有一0 - 500ml/minute質(zhì)量流量計，可精確地控制進(jìn)氣流量
真空泵	儀器中包括一臺240L/min直聯(lián)式雙旋真空泵、KF25波紋管以及KF25的手動擋板閥。極限真空度為50mTorr
通入氣體	等離子腔體中可以通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定）
可選	可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片可選購2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)
外型尺寸	620 L ×450 W ×600 H, mm
質(zhì)保期	一年質(zhì)保期，終生維護(hù)

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