2路質(zhì)量流量計500w等離子清洗機

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等離子清洗機

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產(chǎn)品簡介

2路質(zhì)量流量計500w等離子清洗機，在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面.以達到清洗目的

詳細介紹

2路質(zhì)量流量計500w等離子清洗機

等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì):處于高速運動狀態(tài)的電子;處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(自由基);離子化的原子、分子;未反應(yīng)的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。等離子清洗/刻蝕機產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個電極形成電場，用真空泵實現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體愈來愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長，受電場作用，它們發(fā)生碰撞而形成等離子體，這些離子的活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵，在任何暴露的表面引起化學反應(yīng)，不同氣體的等離子體具有不同的化學性能，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性

2路質(zhì)量流量計500w等離子清洗機KT-Z5KQX

供電電源	AC220V（AC110V可選)
工作電流	整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵)
射頻電源功率	500W可調(diào)
射頻頻率	40kHz
耦合方式	電容耦合
真空度	≤30Pa
腔體容積	5L(內(nèi)徑 152mmX 深度 280mm)
載物規(guī)格	125mmX260mm
氣體流量	0—50ml/min（其他量程可選）
氣體路數(shù)	2 路質(zhì)量流量計+精密流量控制閥
過程控制	自動控制
清洗時間	手動開關(guān)
開蓋方式	鉸鏈側(cè)開式法蘭
真空室溫度	小于65°C
外形尺寸	450x450x250mm
冷卻方式	強制風冷
標配	KF16真空管1米，kf16卡箍2個，不銹鋼網(wǎng)匣1個，電源線一根，說明書一本，機械泵一臺

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