設(shè)計(jì)的滾輪貼膜

自動(dòng)膠膜進(jìn)給及貼膜

手動(dòng)晶圓上下料

自動(dòng)切割膠膜，省力

藍(lán)膜、UV 膠膜可選

PLC+觸摸屏

配置光簾保護(hù)功能，和緊急停機(jī)按鈕

三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監(jiān)控

晶圓厚度

100～750微米

晶圓種類

硅, 砷化鎵或其它

單平邊,雙平邊,V型缺口

膠膜種類

藍(lán)膜或者UV膜

貼膜方法

滾輪貼膜

晶圓臺(tái)盤

接觸式晶圓臺(tái)盤

晶圓臺(tái)盤

通用(一體式)特氟隆防靜電涂層接觸式臺(tái)盤;或硅膠臺(tái)盤;或陶瓷臺(tái)盤

晶圓臺(tái)盤加熱

MAX可達(dá) 120℃ (對(duì)應(yīng)接觸式臺(tái)盤，可 選)

晶圓放置精度

X-Y:  +/- 0.5 毫米； Θ  : +/- 0.5°

裝卸方式

手動(dòng)晶圓放置與取出；晶圓在位置檢測(cè)

防靜電控制

去離子風(fēng)扇

切割系統(tǒng)

自動(dòng)刀

控制單元

基于 PLC 控制，10.4"觸摸屏

電源電壓

單相交流電220V,10A

壓縮空氣

60  PSI 清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 2.5  立方英尺

燈塔

三色燈塔和蜂鳴器，用于操作狀態(tài)監(jiān)測(cè)

安全

配置安全光簾和緊急停機(jī)開關(guān)

體積

950 毫米(寬)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高) 

凈重

300 公斤